鈦泵的性能及除氣機(jī)理|最新資料
鈦泵的性能 ?。?) 極限壓強(qiáng):10-8帕 (2) 抽速: 鈦泵的抽速與陽極電壓和磁場強(qiáng)度有關(guān),磁場強(qiáng)時抽速也大,對應(yīng)最佳抽速的陽極電壓也高。常用鈦泵的抽速有25升/秒、5升/秒。對于需要大抽速的場合,可用基本結(jié)構(gòu)單元并聯(lián)的方式使抽速達(dá)到50升/秒、100升/秒等。 (3) 啟動壓強(qiáng):10-2帕 (4) 壽命: a、陰極耗盡壽命 陰極鈦板因濺射穿通而使泵無法使用。 b、陽極剝落壽命 陽極內(nèi)沉積鈦膜的厚度太大時會產(chǎn)生剝落,導(dǎo)致泵內(nèi)壓強(qiáng)的不規(guī)則強(qiáng)烈變化,使泵無法使用。 c、陽極吸飽壽命 陽極上吸附和溶解了大量的氦氣、氫氣,當(dāng)達(dá)到飽和狀態(tài)時泵不能再吸附氣體。 在正常使用情況下,濺射離子泵的壽命可達(dá)幾萬小時。 除氣機(jī)理 ?。?) 對活性氣體的抽除 對N2、O2、CO和CO2等氣體的排除主要靠淀積于陽極筒內(nèi)壁上的鈦膜的化學(xué)吸附。 (2) 對氫氣的抽除 對氫氣的抽除有化學(xué)吸附,也有擴(kuò)散、吸收、溶解作用。 (3) 對惰性氣體的抽除 對惰性氣體的排除,主要靠離子“掩埋”,被電離的惰性氣體的離子轟擊陰極時,有以下三種情況: a、離子直接打入陰極內(nèi),或打入陰極邊緣對面的陽極板上的鈦淀積層內(nèi); b、斜射的離子切入陰極表面,離子和鈦一起被掀掉而沉積在陰極板的周圍或其它地方; c、離子沒有打入板內(nèi),但是從陰極得到電子而復(fù)合為中性原子,然后又反射到陽極內(nèi)表面的鈦膜中。 鈦泵電源 鈦泵的電源是高內(nèi)阻電源,其空載輸出電壓在3~7KV間,但負(fù)載電流大時,輸出電壓降至400V左右。一般濺射離子泵使用5KV倍壓整流電源??梢杂昧鬟^鈦泵陰陽極的放電電流反映所抽空間的真空度。濺射離子泵在額定電壓與磁場強(qiáng)度下的放電電流Iion(mA)與壓強(qiáng)P(Torr)有一定的曲線關(guān)系。所以通過離子泵電源可反映出壓強(qiáng)的大小。 泵電源的面板上顯示有:輸出直流高壓和鈦泵放電電流等。
本文關(guān)鍵詞:泵
|